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行业新闻 news
罐体抛光机柔性抛光头
添加时间:2018-03-01
              罐体抛光机在边缘效应方面,由于柔性抛光头在工件边缘处去除函数不完整,因此气囊抛光、磁流变抛光等柔性抛光方式仍未消除边缘效应,罐体抛光机其中气囊抛光方式通过优化加工工艺与控制算法可有效改善工件的边缘抛光质量。而非接触抛光方式中,射流抛光由于射流磨料载体分子间的束缚力远远小于柔性抛光工具磨料载体内原子间的作用力,因此可以消除边缘效应;化学蒸发加工、离子束加工等方式不仅没有边缘效应,而且能够对工件边缘进行有效修正。以上几种非球面抛光方法均属于小加工斑点通过抛光路径规划与驻留时间控制相结合实现定量材料去除,加工工具与加工表面本质上为点接触方式,一次只能加工单个工件;其加工精度均需要一个复杂的数控系统和高精度、高刚度的机床系统来保证,加工成本较高(其中离子束加工需要真空环境)。
            随着非球面应用范围的拓展(如低能粒子束聚焦)以及应用精度的提高(如下一代光刻技术),非球面元件表面质量要求趋向于原子级,且要求表面完整,无亚表面损伤与晶格缺陷。使用非接触加工方式,如通过原子吸附或化学蒸发等方式来实现原子级的高效无损伤材料去除成为当前非球面超精密抛光的一个发展方向。如何改进抛光过程控制策略以提高当前非球面超精密抛光技术的抛光效率与精度。抛光过程中可使用抛光工具影响函数表征给定的抛光工具其加工斑点材料去除量的分布的研究表明,在确定性抛光过程中,当控制TIF为对称函数时,工件的加工面型精度P-V值较TIF无控制时平均提高14%;且将驻留时间控制方法与时变TIF相结合,可将抛光时间缩短35%。此外,发明更精确的驻留时间算法。