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摆式结构是市场上研磨封头抛光机的一种主要结
添加时间:2018-01-29
          摆式结构是市场上研磨封头抛光机的一种主要结构,公司都有此类结构的产品。本文对小型摆式精密研磨封头抛光机的运动进行分析。该封头抛光机可实现各种研磨与抛光参量的连续无级调整,并实现研磨与抛光过程的连续修整。通过更换抛光或研磨盘可以实现单晶硅片的研磨与抛光两种功能。分别是摆式抛光与研磨的运动原理及相应的运动参数。静态坐标系XOY固定在机座上,第一动坐标系X1OY1固结在研磨(抛光)盘上;第二动坐标系X2O1Y2固结在单晶硅片上,且护环与硅片同步旋转;第三动坐标系X3O1Y3固定在以O1为中心且与X1OY1平行的坐标系上,为了研究问题方便,认为硅片的旋转是均速的,且X2O1Y2坐标系在t=0时刻O1Y2轴与摆杆O1O2重合。
         研磨(抛光)盘上随机点P(R,G)相对单晶硅片的运动分析如下。设点P为研磨(抛光)盘上的一个随机磨料点,则由运动学原理,将式(3)对时间t取一阶导数,在单晶硅片的研磨(抛光)过程中,磨料以一个具体的点来对工件和研磨(抛光)盘表面实现两体接触形式或三体接触形式的切削,而磨料的集合体却以随机的方式完成整个加工过程,服从均匀分布的统计规律。以点的方式模拟整个加工过程更切合研磨(抛光)实际。蒙特卡罗法充分利用随机试验这个统计过程,与计算机的伪随机数试验过程结合,为整个研究提供可行性。仿真模拟分析利用MATLAB软件进行。