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封头瓷抛光机的机械设计
添加时间:2017-12-23
        封头抛光机新型陶瓷作为一种新的机械工程材料,越来越被人们所重视。封头抛光机新型陶瓷分为功能陶瓷和工程陶瓷两大类。功能陶瓷是作为功能材料使用的,利用的是电磁性能、光学性能、化学性能和生物学性能等。工程陶瓷是作为结构材料使用的,利用的是热性能、机械性能和化学性能,因而也称为结构陶瓷。现在,工程陶瓷已经在能源技术、机械制造、汽车工业、石油化工、冶金工业、宇航工业、海洋技术开发和生物医疗等领域得到广泛的应用[1]。然而,在对陶瓷材料进行研磨抛光时,由于工艺的稳定性不足,容易造成工件表面的划伤,甚至造成工件破损。为此,需要一种加载稳定均匀的封头抛光机,以改善抛光工艺,进一步提高加工质量。
       国内传统的双面封头抛光机结构一般采用单电动机通过齿轮传动使上下抛光盘、中心轮及齿圈运动。这类研磨封头抛光机重心低、性能稳定、结构紧凑、操作简单、安全可靠,并且由于采用行星式运动,球磨效率高、粒度细,因此常用于超精密研磨抛光[2-4]。然而该研磨封头抛光机在机械结构上还存在一些不足:控制系统不完善,只能简单地手动控制或半自动控制;单立柱结构,刚性相对较差,加工精度达不到晶片的加工要求等。